隨著低碳經(jīng)濟的興起及能源危機的到來，可再生綠色能源的開發(fā)及節(jié)能減排的推廣，成為科學技術發(fā)展的重要課題與推動經(jīng)濟增長的重要產(chǎn)業(yè)。太陽能作為一種豐富清潔的能源，已經(jīng)呈現(xiàn)爆炸式增長，在節(jié)能減排方面，Low-E玻璃的應用也日益廣泛。

太陽能行業(yè)及Low-E玻璃對TCO靶材都有極大的需求，ITO靶材因其較低的電阻率，可見光波段較高的透光率，在環(huán)境中的穩(wěn)定性，是作為TCO的主要的材料，但ITO靶材價格較高，制備工藝復雜，需要HIP，不適合柔性襯底鍍膜，加之銦資源匱乏，限制了TCO靶材及相關行業(yè)的發(fā)展。

在過去的幾十年，開展了大量以摻雜氧化鋅和摻雜氧化錫替代ITO產(chǎn)品的研究開發(fā)，其中氧化鋁摻雜氧化鋅的材料效果較好AZO靶材及鍍膜具有與ITO相近的電學和光學特性且原料豐富。為降低靶材成本，AZO成為透明導電薄膜材料的關注焦點。氧化鋅機體中摻雜適當量的氧化鋁，在透光率損失不大的前提下，可以提高導電性。國內(nèi)AZO平面靶雖有一些廠家可以制備，但管狀靶鮮有供應商能夠提供，尤其是尺寸較大的靶材，存在密度、色澤及開裂的問題。

隨著磁控濺射鍍膜的發(fā)展，對成本降低的要求越來越高，平面AZO靶材的30～40％的利用率就難以降低成本，而管狀AZO靶材70～90％的利用率就使得其成本優(yōu)勢吸引力。另外，平面靶濺射時功率無法很大，否則會造成開裂。管狀AZO靶適用于大濺射功率，具有高生產(chǎn)效率。本發(fā)明通過噴霧干燥工藝對粉末制備的控制，既可以制備較大尺寸的平面AZO靶，也可制備較大尺寸的管狀AZO靶材。

提供一種適用于平面和管狀AZO靶材的AZO粉末制備方法，以及制備平面和管狀AZO靶材的方法，用以制備性能優(yōu)良的AZO薄膜。該方法采用純度大于99.99％的ZnO粉末及純度大于99.95％的氧化鋁粉末，均勻濕混，以噴霧干燥工藝對其造粒，形成AZO粉末。并以噴霧干燥工藝制得的AZO粉末，壓制成型，燒結(jié)成密度在90％～99％的大尺寸AZO平面靶和大尺寸AZO旋轉(zhuǎn)靶，其中氧化鋁占質(zhì)量百分比為0.5～5％。

AZO粉末制備的具體步驟為：

按一定比例稱取原料氧化鋅，氧化鋁，加入水，濕混均勻，獲得固含量為50～70％的料漿，氧化鋁占質(zhì)量百分比范圍為0.5～5％。

采用噴霧干燥器，不添加有機粘結(jié)劑，進行噴霧干燥造粒，制成AZO粉末。